全氟三乙胺

全氟三乙胺 Perfluorotriethylamine，CAS：359-70-6；别名十五氟三乙胺，常归类于全氟胺类电子氟化液，FC-131

同属于全氟胺系列高性能电子氟化液，分子中全部氢原子被氟取代，具备极强化学惰性、不可燃、超低表面张力，低温流动性优异，挥发后无残留。

 在半导体产业中，电子级全氟三乙胺主要用于 MEMS、BGA 封装器件与晶圆的精密气相清洗，高效清除微颗粒与有机污染物；同时作为绝缘氟化液，用于芯片两相浸没式散热与功率器件高低温可靠性测试，也可用于半导体真空管路气密性检漏。