全氟己烷，别名：十四氟己烷；CAS：355-42-0

全氟己烷是全氟烷烃系列高性能电子氟化液，分子中全部氢原子被氟取代，拥有极强化学惰性、不可燃、低表面张力，挥发不留残渍。 在半导体产业中，电子级全氟己烷主要用于晶圆、芯片封装器件的精密气相清洗，可高效清除微小颗粒与有机污染物，适配精细微结构清洗；同时作为绝缘氟化液，用于芯片浸没式两相冷却，也用于半导体真空设备管路气密性检漏。 除此之外，全氟己烷还可应用于光学器件清洗、医疗特种介质、特种含氟涂料稀释等场景。